台積電(diàn)是目前最積極導入極紫外光微影(yǐng)設備提供代工量産服務的晶圓廠，也因台積電(diàn)在鳍式場(chǎng)效電(diàn)晶體(tǐ)（FinFET）技(jì)術(shù)工藝精進，台積電(diàn)在5納米全數(shù)導入極紫外光微影(yǐng)設備。
台積電(diàn)已宣布3納米延續采用鳍式場(chǎng)效電(diàn)晶體(tǐ)架構，依此技(jì)術(shù)架構，向2納米邁進。
台積電(diàn)此前在2019年年報中透露，公司已開(kāi)始開(kāi)發2納米技(jì)術(shù)，同時(shí)針對2納米以下的技(jì)術(shù)進行(xíng)探索性研究。
